JBX-8100FS Series

Το JBX-8100FS Series της JEOL είναι ένα υπερσύγχρονο σύστημα λιθογραφίας με δέσμη ηλεκτρονίων (EBL), σχεδιασμένο για να ανταποκρίνεται στις απαιτητικές εφαρμογές υψηλής απόδοσης και υψηλής ακρίβειας στη νανοκατασκευή και την παραγωγή διατάξεων ημιαγωγών. Αξιοποιώντας την προηγμένη τεχνολογία ηλεκτρονικών οπτικών της JEOL, το JBX-8100FS προσφέρει εξαιρετική σταθερότητα και απόδοση τόσο για ερευνητικούς όσο και για βιομηχανικούς σκοπούς.

Βασικά Χαρακτηριστικά:

• Συμπαγής Σχεδιασμός: Το JBX-8100FS διαθέτει μικρό χώρο, με διαστάσεις 4,9 m (Π) x 3,7 m (Β) x 2,6 m (Υ), καθιστώντας το σημαντικά πιο αποδοτικό σε σχέση με τα συμβατικά συστήματα.
• Χαμηλή Κατανάλωση Ενέργειας: Σχεδιασμένο με γνώμονα την ενεργειακή αποδοτικότητα, το σύστημα λειτουργεί σε ισχύ περίπου 3 kVA, μειώνοντας τη χρήση ισχύος στο ένα τρίτο της απαιτούμενης από τα παραδοσιακά συστήματα EBL.
• Υψηλή Απόδοση: Εξοπλισμένο με δύο λειτουργίες έκθεσης – υψηλής ανάλυσης και υψηλής απόδοσης – το JBX-8100FS υποστηρίζει μια ποικιλία αναγκών δημιουργίας προτύπων, από εξαιρετικά λεπτή επεξεργασία έως παραγωγή μικρού και μεσαίου μεγέθους. Το σύστημα ελαχιστοποιεί τον χρόνο αδράνειας κατά τη διάρκεια της έκθεσης και επιτυγχάνει μέγιστη ταχύτητα σάρωσης 125 MHz, ένα από τα υψηλότερα επίπεδα παγκοσμίως, διευκολύνοντας τις γρήγορες και αποτελεσματικές διαδικασίες εγγραφής.
• Αρθρωτή και Αναβαθμίσιμη Πλατφόρμα: Το σύστημα διατίθεται σε τρεις εκδόσεις: G1 (μοντέλο εισόδου), G2 (μοντέλο πλήρων επιλογών) και G3 (μοντέλο πλήρων προδιαγραφών). Στο μοντέλο G1 μπορούν να προστεθούν προαιρετικά αξεσουάρ ανάλογα με τις ανάγκες, επιτρέποντας την προσαρμογή βάσει συγκεκριμένων απαιτήσεων εφαρμογής. Στον παρακάτω πίνακα μπορείτε να δείτε με ακρίβεια τα χαρακτηριστικά του κάθε μοντέλου.
• Προηγμένη Ηλεκτρονική Οπτική: Ενσωματώνοντας τη φημισμένη τεχνολογία ηλεκτρονικής οπτικής της JEOL, το JBX-8100FS εξασφαλίζει απόλυτη σταθερότητα κατά τη λειτουργία, συμβάλλοντας σε συνεπή και αξιόπιστα αποτελέσματα μοντελοποίησης.
• Ευέλικτη Συμβατότητα Υποστρώματος: Το σύστημα φιλοξενεί υποστρώματα διαμέτρου έως 200 mm, mask blanks 6 ιντσών και μικρά δείγματα διαφόρων μεγεθών, καλύπτοντας ποικίλες ανάγκες.
• Βελτιωμένη Χρηστικότητα: Το JBX-8100FS διαθέτει ένα ευέλικτο λειτουργικό σύστημα Linux® σε συνδυασμό με μια νέα γραφική διεπαφή χρήστη, παρέχοντας ευκολία στη λειτουργία. Το πρόγραμμα προετοιμασίας δεδομένων υποστηρίζει τόσο το Linux® όσο και τα Windows®, ενισχύοντας την ευελιξία των χρηστών.

Προδιαγραφές

Το JEOL JBX-8100FS είναι ένα ευέλικτο και αποτελεσματικό σύστημα λιθογραφίας με δέσμη ηλεκτρονίων, ιδανικό για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και απόδοση. Τα προηγμένα χαρακτηριστικά του και οι προσαρμόσιμες επιλογές του το καθιστούν κορυφαία επιλογή τόσο για ερευνητικά ιδρύματα όσο και για βιομηχανικούς και κατασκευαστικούς κλάδους που στοχεύουν στην επίτευξη αποτελεσμάτων αιχμής στη νανοκατασκευή και την ανάπτυξη διατάξεων ημιαγωγών.

Για περισσότερες λεπτομερείς πληροφορίες σχετικά με το JBX-8100FS, επισκεφθείτε την επίσημη ιστοσελίδα της JEOL.