JBX-A9 Series

To JBX-A9 Series της JEOL αποτελεί σύστημα λιθογραφίας με δέσμη ηλεκτρονίων και είναι ένα υπερσύγχρονο σύστημα άμεσης γραφής σχεδιασμένο για εφαρμογές υψηλής ακρίβειας και υψηλής απόδοσης. Βασισμένο στην προηγμένη τεχνολογία ηλεκτρονικών οπτικών της JEOL, το JBX-A9 προσφέρει εξαιρετική σταθερότητα και απόδοση για διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών και νανοκατασκευές.

Βασικά Χαρακτηριστικά:

• Υψηλή Ακρίβεια και Απόδοση: Το JBX-A9 έχει σχεδιαστεί για να παρέχει τόσο υψηλή ακρίβεια όσο και υψηλή απόδοση στη λιθογραφία με δέσμη ηλεκτρονίων, καθιστώντας το κατάλληλο για προηγμένες ερευνητικές και βιομηχανικές εφαρμογές.
• Προηγμένη Ηλεκτρονική Οπτική: Ενσωματώνοντας τη φημισμένη ηλεκτρονική οπτική της JEOL, το σύστημα εξασφαλίζει απόλυτη σταθερότητα κατά τη λειτουργία, συμβάλλοντας σε συνεπή και αξιόπιστα αποτελέσματα μοντελοποίησης.
• Συμβατότητα με Πλακίδια (Wafers): Το σύστημα φιλοξενεί πλακίδια μεγέθους έως 300 mm, καλύπτοντας τις ανάγκες των σύγχρονων διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών.
• Ενσωμάτωση FOUP: Διατίθεται ένα προαιρετικό σύστημα FOUP (Front-Opening Unified Pod), το οποίο διευκολύνει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε αυτοματοποιημένα περιβάλλοντα χειρισμού πλακιδίων και ενισχύει την αποδοτικότητα της παραγωγής.
• Επεκτασιμότητα εντός της γραμμής: Το JBX-A9 προσφέρει επεκτασιμότητα εντός γραμμής σε άλλα εργαλεία επεξεργασίας, όπως επίστρωση και ανάπτυξη, επιτρέποντας εξορθολογισμένες ροές εργασίας και μειωμένους χρόνους επεξεργασίας.
• Ενεργειακή απόδοση: Σχεδιασμένο με γνώμονα τη χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, το σύστημα υποστηρίζει τη βιώσιμη λειτουργία χωρίς συμβιβασμούς στην απόδοση.
• Φιλικό προς τον χρήστη περιβάλλον εργασίας: Η βελτιωμένη ευκολία χρήσης του συστήματος ανταποκρίνεται σε χειριστές όλων των επιπέδων εμπειρίας, μειώνοντας την καμπύλη εκμάθησης και προωθώντας τη λειτουργική αποδοτικότητα.

Τεχνικές Προδιαγραφές:

• Τάση Επιτάχυνσης: 100 kV
• Μέγιστο Μέγεθος Πεδίου: 1000 μm
• Ελάχιστη Αύξηση:25 nm
• Ακρίβεια Ραφής: ±9 nm
• Ακρίβεια Επικάλυψης: ±9 nm
• Ελάχιστο Πλάτος Γραμμής: ≤8 nm
• Εύρος Ρεύματος Δέσμης: 50 pA έως 400 nA
• Μέγιστη Ταχύτητα Σάρωσης: 200 MHz
• Ακρίβεια Τοποθέτησης Τράπεζας:15 nm
• Αυτόματες Διορθώσεις Εκτροπής: Περιλαμβάνει δυναμική εστίαση, δυναμικό στίγμα και διόρθωση παραμόρφωσης εκτροπής.
• Μέγιστο Μέγεθος Δείγματος: Υποστηρίζει πλακίδια 300 mm και μάσκες 9 ιντσών
• Κατανάλωση Ρεύματος: 5 kVA
• Διαστάσεις:4 m × 5.3 m × 2.7 m (Υ)

Βασική Έκδοση:

• Κυρίως Μονάδα: Περιλαμβάνει το βασικό σύστημα λιθογραφίας
• Σύστημα Αυτόματης Φόρτωσης: Διαθέτει μηχανισμό αυτόματης φόρτωσης 10 κασετών για αποτελεσματικό χειρισμό δειγμάτων
• Πρόγραμμα ελέγχου: Εξοπλισμένο με σύστημα CPU για ακριβή έλεγχο και λειτουργία
• Πρόγραμμα προετοιμασίας δεδομένων: Διατίθενται πρόσθετες άδειες για ολοκληρωμένη προετοιμασία δεδομένων

Προαιρετικά Πρόσθετα:

• In-Situ Οπτικό Μικροσκόπιο: Επιτρέπει την παρατήρηση και ευθυγράμμιση σε πραγματικό χρόνο κατά τη διάρκεια των διαδικασιών λιθογραφίας
• Σύστημα αυτόματης φόρτωσης πλακιδίων FOUP: Ενισχύει την αυτοματοποίηση και την ενσωμάτωση σε περιβάλλοντα κατασκευής ημιαγωγώνOpen Cassette 200 mmWafer
• Σύστημα αυτόματης φόρτωσης πλακιδίων ανοικτής κασέτας 200 mm: Παρέχει ευελιξία για το χειρισμό διαφορετικών μεγεθών πλακιδίων
• Πρόγραμμα υψηλής τάσης 48 kV: Προσφέρει πρόσθετη λειτουργική ευελιξία
• Προσαρμόσιμες κασέτες: Προσαρμόζεται εξειδικευμένες απαιτήσεις χειρισμού δειγμάτων
• SECS/GEM: Υποστηρίζει πρότυπα πρωτόκολλα επικοινωνίας για την ενσωμάτωση εξοπλισμού
• Air Conditioner: Διατηρεί τις βέλτιστες συνθήκες λειτουργίας
• ύστημα ακύρωσης ηλεκτρομαγνητικών παρεμβολών: Μειώνει τις ηλεκτρομαγνητικές παρεμβολές για βελτιωμένη απόδοση

Το JEOL JBX-A9 Series είναι ένα ευέλικτο και αποδοτικό σύστημα λιθογραφίας με δέσμη ηλεκτρονίων, ιδανικό για εφαρμογές που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και απόδοση. Τα προηγμένα χαρακτηριστικά του και οι προσαρμόσιμες επιλογές του το καθιστούν κορυφαίο τόσο για τα ερευνητικά ιδρύματα όσο και για τους βιομηχανικούς κατασκευαστές που στοχεύουν στην επίτευξη αποτελεσμάτων αιχμής στη νανοκατασκευή και την ανάπτυξη διατάξεων ημιαγωγών.

Για περισσότερες πληροφορίες σχετικά με τα χαρακτηριστικά του, επισκεφθείτε την επίσημη ιστοσελίδα της JEOL.