JBX-3200MVS

Το JEOL JBX-3200MVS είναι ένα υπερσύγχρονο σύστημα λιθογραφίας με δέσμη ηλεκτρονίων μεταβλητού σχήματος, σχεδιασμένο για την κατασκευή μάσκας που στοχεύει σε nodes 32 nm έως 28 nm. Αυτό το προηγμένο σύστημα αξιοποιεί τεχνολογία αιχμής για να παρέχει υψηλές ταχύτητες, υψηλή ακρίβεια και εξαιρετικά αξιόπιστη απόδοση, καθιστώντας το ιδανική επιλογή για τις σύγχρονες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.

Βασικά Χαρακτηριστικά:

• Ακτίνα ηλεκτρονίων μεταβλητού σχήματος: Το σύστημα χρησιμοποιεί ακτίνα ηλεκτρονίων μεταβλητού σχήματος 50 kV, επιτρέποντας την ευέλικτη δημιουργία προτύπων που είναι απαραίτητη για πολύπλοκα σχέδια μάσκας.
• Τράπεζα δειγμάτων Step-and-Repeat: Ενσωματώνοντας μια μέθοδο εγγραφής step-and-repeat, το JBX-3200MVS ενισχύει την απόδοση και την ακρίβεια κατά τη διαδικασία λιθογραφίας.
• Προηγμένες λειτουργίες διόρθωσης: Το σύστημα διαθέτει δυνατότητες διαμόρφωσης της δόσης εγγραφής και εγγραφής επικάλυψης, επιτρέποντας ευέλικτες διορθώσεις που είναι απαραίτητες για τη δημιουργία προτύπων σε παλαιές μάσκες και δικτυώματα.
• Υψηλή απόδοση: Ένα καινοτόμο σύστημα διόρθωσης επίδρασης εγγύτητας (PEC) αυξάνει την απόδοση, διαχειριζόμενο αποτελεσματικά τα φαινόμενα σκέδασης ηλεκτρονίων, που είναι ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση της πιστότητας του μοτίβου σε κλίμακες νανομέτρων.
• Μεταφορά δεδομένων υψηλής ταχύτητας: Εξοπλισμένο με ένα σύστημα μεταφοράς δεδομένων υψηλής ταχύτητας, το JBX-3200MVS διαχειρίζεται αποτελεσματικά μεγάλους όγκους δεδομένων, υποστηρίζοντας τις περίπλοκες απαιτήσεις της προηγμένης κατασκευής μάσκας.

Προδιαγραφές:

• Ακρίβεια Συρραφής: ≤±3.5 nm
• Ακρίβεια Επικάλυψης: ≤±5 nm

Αυτές οι προδιαγραφές υπογραμμίζουν την ικανότητα του συστήματος να παράγει εξαιρετικά ακριβή και αξιόπιστα πρότυπα, ικανοποιώντας τις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων διατάξεων ημιαγωγών.

Με αποδεδειγμένο ιστορικό, το JBX-3200MVS της JEOL έχει υιοθετηθεί τόσο από ιδιόκτητα όσο και από εμπορικά καταστήματα μάσκας παγκοσμίως, γεγονός που αντικατοπτρίζει την αξιοπιστία και την απόδοσή του σε ποικίλα περιβάλλοντα παραγωγής.

Συνοψίζοντας, το JEOL JBX-3200MVS αποτελεί ένα κορυφαίο σύστημα λιθογραφίας με δέσμη ηλεκτρονίων, προσφέροντας απαράμιλλη ακρίβεια, ταχύτητα και προσαρμοστικότητα για την κατασκευή μασκών σε nodes 32 nm έως 28 nm. Τα προηγμένα χαρακτηριστικά του και οι στιβαρές προδιαγραφές του το καθιστούν ανεκτίμητο πλεονέκτημα για τους κατασκευαστές ημιαγωγών που στοχεύουν στην επίτευξη αριστείας στις διαδικασίες λιθογραφίας τους.

Για περισσότερες λεπτομερείς πληροφορίες σχετικά με το JBX-3200MVS και τις εφαρμογές του, επισκεφθείτε την επίσημη ιστοσελίδα της JEOL.